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首页 >> 產(chǎn)品中心 >>濺射靶材 >>陶瓷靶材 >> IGZO 靶材 In2O3:Ga2O3:ZnO=1:1:1 at%
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IGZO 靶材 In2O3:Ga2O3:ZnO=1:1:1 at%

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  • 氧化銦鎵鋅 靶材

產(chǎn)品名稱：氧化銦鎵鋅 靶材

純度：99.99%

濺射方式：射頻濺射

注意事項：靶材表面如果會發(fā)黑，或是因為有In析出，尤其是氧氣一少更容易發(fā)黑，因為In是+2價的，建議濺射過程中補入氧氣


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